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本发明公开了绝对型容栅传感器测量系统,包括测量信号处理单元和与测量信号处理单元连接的绝对型容栅传感器单元以及数据处理单元,所述测量信号处理单元设有并联可选的第一容栅IC1和第二容栅IC2,所述绝对型容栅传感器单元包含第一增量型容栅传感器组和第二增量型容栅传感器组,其中每组增量型容栅传感器的组成结构均与常规增量型容栅传感器一致、均沿测量轴线同步移动,在单节距内均具有数据唯一性的特性,并且两组增量型容栅传感器的节距接近,在绝对型容栅传感器的有效量程内两组增量型容栅传感器经过的节距数之差≤1。这种系统
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112254748 A
(43)申请公布日 2021.01.22
(21)申请号 202011345474.1
(22)申请日 2020.11.26
(71)申请人 桂林市锦鹏电子有限公司
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