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本发明为一种五自由度同时测量干涉装置，包括激光器，所述激光器发出准直光束的方向上依次设有扩束系统、偏振分光平板、四分之一波片、圆锥棱镜和圆锥反射镜，所述偏振分光平板与所述激光器发出准直光束方向的夹角为135°，所述偏振分光平板在将所述光束反射的方向上设有凹透镜二，所述凹透镜二将所述光束成像至光电探测器上。本发明可以同时测量直线定位误差、水平直线度误差、竖直直线度误差、偏摆角误差和俯仰角误差共五个自由度的误差；环境因素对直线度位移的影响是可以忽略的，适用于复杂的检测环境；系统结构简单；测量行程和测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112284299 A
(43)申请公布日 2021.01.29
(21)申请号 202010918713.1
(22)申请日 2020.09.04
(71)申请人 常州工学院
地址 2
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