用于静电卡盘的多层的接地机构和相关方法.pdfVIP

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本申请案涉及用于静电卡盘的多层的接地机构和相关方法。描述了用以在晶片处理期间紧固和支撑晶片衬底的多层静电卡盘和相关方法，其中所述卡盘包含接地结构，所述接地结构包含接地层和接地引脚。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112289731 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 202010722741.6 (22)申请日 2020.07.24 (30)优先权数据 62/877,91

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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