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本发明涉及一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置，包括：后固定板垂直固定在基座的后端，音圈电机定子部分的后端垂直固定在后固定板上，音圈电机定子部分的中心轴线与基座平行。音圈电机动子部分连接在音圈电机定子部分的前端，前固定板固定在音圈电机动子部分的前端，前固定板与基座垂直。宏动平台的后端固定在前固定板的下端，微动平台固定在宏动平台的上表面。导轨固定在宏动平台下方的基座上，导轨垂直于前固定板。宏动平台卡在导轨上，宏动平台侧面设置有锁紧装置，以便于需要时将宏动平台定位在导轨上。该装置具有单个自由度上宏
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112276639 A
(43)申请公布日 2021.01.29
(21)申请号 202011139339.1
(22)申请日 2020.10.22
(71)申请人 山东大学深圳研究院
地
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