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一种晶圆卡盘清理装置.pdfVIP

一种晶圆卡盘清理装置.pdf

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    本发明实施例提供了一种晶圆卡盘清理装置。在本发明实施例中，提供了一种包括摩擦旋转机构、机械臂、排风管路和控制部件的晶圆卡盘清理装置。通过控制部件使摩擦旋转机构上的研磨盘摩擦晶圆卡盘，再利用排风管路吸除颗粒。采用本发明实施例的晶圆卡盘清理装置去除晶圆卡盘上的颗粒，能够缩短清理时间，从而能够提高设备的WPH。同时，还能够避免外部的颗粒进入设备中而形成的污染，降低人为清理产生的误差而导致设备故障的风险。能够确保晶圆卡盘的清洁度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112276784 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 20191

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