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本发明公开了一种可以实现微流速敏感的机械灵敏度和测量范围可调的硅微流速计的三层结构方案。具体为作为信号接收层的金属立柱，作为信号转化层的硅微机械结构，以及作为信号输出层的玻璃绝缘层及其信号引线。金属立柱通过紫外线固化胶粘合在硅微机械结构上表面的中心位置，硅微机械结构的通过硅-玻璃键合技术固定在玻璃绝缘层上表面，硅微机械的锚点与玻璃绝缘层的金属引线位置相对应，从而实现电信号的输入输出控制。本发明通过给两组音叉型谐振器施加带有不同直流偏置信号的交流驱动电压，由于静电负刚度效应，改变静电弱耦合谐振结构
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 111679095 B
(45)授权公告日 2022.03.11
(21)申请号 202010398469.0 US 2019372483 A1,2019.12.0
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