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本发明公开了一种基于超薄金属薄膜实现宽带光吸收增强的方法及吸波装置,属于微纳光学与超构材料领域。本发明提供的结构依次由金属基底、T型光刻胶微结构以及包裹T型光刻胶微结构的超薄金属膜层构成。当入射光照射到器件表面时,借助金属微结构阵列激发的表面等离激元共振效应,不同波长光波电场在T型金属微结构阵列不同部分的表面被高度局域和增强,调节和优化T型微结构的尺寸和深度实现阻抗匹配时,可以在整个可见光波段实现宽带光吸收增强。此外,本发明提供的方法及装置具有很高的结构制备容差,对入射光偏振态和入射角变化不敏感
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112255715 B
(45)授权公告日 2021.12.03
(21)申请号 202011147301.9 (56)对比文件
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