超高数值孔径组合变倍率极紫外光刻物镜及优化方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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超高数值孔径组合变倍率极紫外光刻物镜及优化方法.pdf

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本发明公开了一种超高数值孔径组合变倍率极紫外光刻物镜及优化方法，使用变倍率的物镜系统设计方案，能够在增大垂直于扫描方向的像方视场尺寸的同时，减少曝光视场的拼接数，提高光刻质量和效率；物镜系统像方数值孔径为0.55和0.6，像方扫描视场宽度为1.5mm和1mm；较大的数值孔径能够使光刻物镜的分辨力提高，较大的像方扫描视场宽度提高了硅片的生产效率；本发明中的物镜系统反射镜上光线入射角较小，便于反射膜层的设计；改进了codev的xy自由曲面面型，增加了自由曲面系数的项数，增加了物镜的优化自由度；建立了

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112286010 B (45)授权公告日 2021.07.27 (21)申请号 202011149970.X (56)对比文件 (22)申请日 2020.10.23

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