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本公开的实施例涉及对象缺陷检测。在一个实施例中公开了计算机实现的方法。根据该方法,对于目标对象的至少一个部分的测试图像,通过重复在测试图像中检测到的周期性图案来生成参考图像,该目标对象由单元组成,目标对象由单元组成。通过比较测试图像和参考图像来确定差分图像。将差分图像叠加在预定义的网格图像上以获得叠加图像。网格图像包括对应于与目标对象相关联的参考对象的单元的网格。基于叠加图像确定目标对象的至少一部分中的缺陷单元的数量。在其他实施例中,公开了一种系统和计算机程序产品。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112288681 A
(43)申请公布日
2021.01.29
(21)申请号 20201
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