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2023-05-26 发布于四川
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一种半导体激光器，包括：依次连接的第一单模波导(1)、第一锥形波导(2)、多模干涉波导(3)、第二锥形波导(4)、第二单模波导(5)、第三锥形波导(6)以及第一多模干涉反射镜(7)；其中，第一单模波导(1)的端面(10)与第一多模干涉反射镜(7)可形成激光腔，并作为激光腔的反射镜；其中，第一多模干涉反射镜(7)通过刻蚀工艺形成。半导体激光器还包括：光栅(8)，其设于第一单模波导(1)上，光栅(8)与第一多模干涉反射镜(7)可形成激光腔，并作为激光腔的反射镜，半导体激光器通过端面(10)输出激光。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112260058 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011152194.9 (22)申请日 2020.10.23 (71)申请人中国科学院半导体研究所

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