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具有加热功能的静电吸盘及其制备方法.pdfVIP

具有加热功能的静电吸盘及其制备方法.pdf

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    具有加热功能的静电吸盘及其制备方法，涉及半导体和材料科学领域。包括上陶瓷基底层，静电吸盘电极层，中间陶瓷层，加热电极层；和下陶瓷基底层。其中，静电吸盘电极层位于上陶瓷基底层和中间陶瓷层之间，加热电极层位于中间陶瓷层和下陶瓷基底层之间，上陶瓷基底层、中间陶瓷层和下陶瓷基底层经烧结成一体把静电吸盘电极层和加热电极层基本上整体封装起来，仅保留用以为静电吸盘电极层和加热电极层提供电连接的连接触点，其中所述具有加热功能的静电吸盘除静电吸盘电极层和加热电极层及其电连接结构之外为全陶瓷结构。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112259490 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011087847.X C04B 35/48 (2006.01)

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