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本发明涉及一种模具PVD涂层方法,其包括步骤,对模具表面进行抛光、清洗及烘干;将反应炉抽气并加热;将模具送入反应炉内,并通气后去除模具表面的氧化物;及以时间为单位,分别以20V‑40V的偏压,2.0Pa‑3.0Pa的气压环境及40V‑135V的偏压,3.0Pa‑5.0Pa的气压环境,分阶段将靶材离子化为离子状态,沉积于模具表面,以依次形成过渡层及工作层,最终在模具表面形成涂层。本发明提供的模具PVD涂层方法可以提高模具表面硬度、耐磨性能,满足模具的工作条件,提高了模具寿命以及成型零件质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112267095 B
(45)授权公告日 2022.04.19
(21)申请号 202010965277.3 C23C 14/02 (2006.01)
(22)申请日
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