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表面发射激光器及其制造方法.pdfVIP

表面发射激光器及其制造方法.pdf

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    本发明涉及表面发射激光器及其制造方法。所述表面发射激光器包括下反射器层、有源层、上反射器层和布线。下反射器层、有源层和上反射器层形成台面、平台和连接部。在台面和平台之间设置有第一凹槽。连接部连接台面和平台，并在从衬底的方向倾斜的方向上延伸。在平台、连接部和台面的外围部分中形成高电阻区域。布线设置在平台、连接部和台面的顶表面上。台面包括从台面的侧表面延伸的氧化区域和电流限制结构，该电流限制结构包括被该氧化区域围绕的孔。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112290376 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 202010708915.3 (22)申请日 2020.07.22 (30)优先权数据 2019-1369

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