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2023-05-26 发布于四川
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一种缺陷检测装置及方法.pdf

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本发明公开了一种缺陷检测装置及方法，检测装置通过设置第一光源单元、第二光源单元和第三光源单元，同时照射待测样品，使得成像物镜分别采集第一照明视场、第二照明视场和第三照明视场在待测样品的表面产生对应的第一光信号、第二光信号和第三光信号，进而，探测器中的第三探测器阵列根据第一光信号产生第一图像，第二探测器阵列用于根据第二光信号产生第二图像，第一探测器阵列用于根据第三光信号产生第三图像，控制器根据第一图像、第二图像和第三图像对待测样品进行缺陷识别，从而实现了可同时采集明场照明、暗场照明和背光照明三种照

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112285116 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 202011110665.X (22)申请日 2020.10.16 (71)申请人上海御微半导体技术有限公司

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