圆筒型溅射靶、In系焊接材料及圆筒型溅射靶的制造方法.pdfVIP

圆筒型溅射靶、In系焊接材料及圆筒型溅射靶的制造方法.pdf

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本发明的圆筒型溅射靶具备呈圆筒形状的溅射靶材和经由焊接层接合于该溅射靶材的内周侧的衬管，所述圆筒型溅射靶的特征在于，所述焊接层由In系焊接材料构成，氧含量为100质量ppm以下。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112292474 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 201980038057.1 (74)专利代理机构北京德琦知识产权代理有限

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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