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光学器件的制造方法.pdfVIP

光学器件的制造方法.pdf

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    本发明提供了一种光学器件的制造方法，包括氢注入工序、激光照射工序及焦点移动工序，交替地反复实施激光照射工序和焦点移动工序，或者并行实施激光照射工序和焦点移动工序。在氢注入工序中，在包含B2O3并且GeO2的含量以氧化物基准的质量分数计小于10％的玻璃构件中注入氢。在激光照射工序中，对注入了氢的玻璃构件的内部聚光照射具有10kHz以上的重复频率的飞秒激光，使玻璃构件产生基于光诱导的折射率变化。在焦点移动工序中，使飞秒激光的焦点位置对玻璃构件相对地移动。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112292625 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 201980039386.8 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事

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