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本发明是一种环形可调定位工装,应用于IC装备制造领域,包括底板,在底板上设有两个弧形槽,在弧形槽内贯穿设有反向锁紧螺钉,反向锁紧螺钉贯穿零件后与螺帽螺合连接,将零件固定在底板上,两弧形槽内的定位销可以根据零件调整不同位置,适用不同形状的零件;在底板上设有多个螺纹孔,在螺纹孔内拧入可调支撑螺钉;可调支撑螺钉与零件抵接,支撑薄壁零件,避免颤刀。本发明通过两侧弧形槽内定位销定位,反向可调螺栓支撑零件薄壁部分,再通过反向锁紧螺钉锁紧零件,解决了薄壁环形零件装夹困难,容易变形的难题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112276602 A
(43)申请公布日 2021.01.29
(21)申请号 202011068144.2
(22)申请日 2020.10.08
(71)申请人 沈阳富创精密设备股份有限公司
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