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本申请公开一种硅棒切磨一体机及硅棒切磨方法,所述硅棒切磨一体机集合了切割装置和研磨装置,可利用硅棒转换装置能将硅棒在各个加工装置之间有序且无缝地进行转移,并利用切割装置对硅棒进行两次侧面切割以形成方形的硅棒以及利用研磨装置对开方切割后的方形的硅棒进行研磨,从而完成硅棒的开方及研磨多工序的一体化作业,提高生产效率及产品加工作业的品质。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112297264 A
(43)申请公布日
2021.02.02
(21)申请号 20191
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