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晶圆洗边装置及系统、晶圆洗边方法.pdfVIP

晶圆洗边装置及系统、晶圆洗边方法.pdf

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    本发明涉及一种提供晶圆洗边装置及系统、晶圆洗边方法，晶圆洗边装置包括：控制器以及机械手臂，且所述控制器用于控制所述机械手臂转动；溶剂管道以及与所述溶剂管道相连通的喷头，所述机械手臂与所述溶剂管道与所述喷头的交界处固定连接，且所述机械手臂转动以使所述喷头的延伸方向与重力方向之间的夹角改变。本发明实施例提供的晶圆洗边装置中，喷头的延伸方向可调，因而能够在不切换溶剂的条件下，对不同的光阻均具有良好的洗边效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112349615 B (45)授权公告日 2022.04.26 (21)申请号 201910728809.9 (56)对比文件 (22)申请日 2019.08.08

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