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本发明涉及一种短焦距二片式自由曲面f‑theta物镜，包括第一镜片和第二镜片，第一镜片具有第一光学面和第二光学面，第二镜片具有第三光学面和第四光学面；所述第一光学面和第三光学面为入射光面，该两光学面的面型为非球面；所述第二光学面和第四光学面为出射光面，该两光学面的面型整体为自由曲面，且在副扫描方向为对称非球面，在主扫描方向为非对称自由曲面；激光通过第一镜片会聚，再经过第二镜片进一步会聚。本发明的两镜片的出射光面采用自由曲面，满足了扫描系统高分辨率、大工作面、小型化需要。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112327454 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 202011311079.1
(22)申请日 2020.11.20
(71)申请人 中国
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