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本公开提供一种波导耦合型单载流子探测器,包括:衬底;波导区,包括:波导下包层,形成于所述衬底之上;以及耦合波导层,形成于所述波导下包层之上,用于与外部光源进行低损耗耦合;以及探测器区,包括:光学匹配层,形成于所述耦合波导层之上,用于对光场模式进行转换与耦合;光吸收层,形成于所述光学匹配层之上,用于吸收光场能量并产生载流子以及形成P型接触表面;载流子收集层,形成于所述光吸收层上方,作为电子的快速渡越区域;带隙过渡层,形成于所述光吸收层与载流子收集层之间,用于降低光吸收层和载流子收集层两者的能带高度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112310237 A
(43)申请公布日 2021.02.02
(21)申请号 202011200268.1
(22)申请日 2020.10.30
(71)申请人 中国科学院半导体研究所
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