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本发明公开了一种低串扰的硅基阵列波导光栅,基底和上包层采用二氧化硅材料,主体波导光栅结构采用硅材料;主体波导光栅由三部分组成:输入输出波导、两个罗兰圆结构型自由传播区波导、阵列波导;在阵列波导以及输入输出波导和自由传播区波导的连接处,使用抛物线锥形波导作为过渡;在输出端优化调节波导的占空比来提高信道的分离度,降低信道串扰。本发明有效降低了损耗以及因宽度突变而引起的相位误差;增大了各信道的隔离度,降低信道串扰;在光通信与光信号处理、波分复用器系统中具有重要应用。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112327409 B
(45)授权公告日 2021.09.07
(21)申请号 202011305679.7 G02B 6/122 (2006.01)
(22)申请日
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