- 1、本文档共10页,其中可免费阅读9页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种用于从氯硅烷中去除杂质特别是掺杂物的方法,所述方法包括以下步骤:(a)加热沉积面(3);(b)使至少一种气态的氯硅烷混合物与加热的沉积面(3)接触,所述气态的氯硅烷混合物含有至少一种氯硅烷和至少一种杂质、特别是至少一种掺杂物;(c)通过在所述沉积面(3)上形成多晶硅沉积物来至少部分地分离杂质、特别是掺杂物,所述多晶硅沉积物中与所述杂质、特别是掺杂物一起富集;(d)导出净化的气态的氯硅烷混合物;(e)使蚀刻气体与加热的沉积面(3)接触,以便使多晶硅沉积物和杂质、特别是掺杂物回到气相,从而形成气
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111263732 A
(43)申请公布日
2020.06.09
(21)申请号 20188
您可能关注的文档
- 地图数据制作方法、更新方法及装置、介质、设备.pdf
- 基于虚拟现实物理引擎的综采装备协同推进仿真方法.pdf
- 基于突变理论和改进布谷鸟算法的蓝藻水华暴发预警方法.pdf
- 一种用于室内停车场的智能汽车自主寻找停车位的方法.pdf
- 一种用于兴趣点采集的道路关联方法及设备.pdf
- 一种基于有源负载调制的宽带功率放大器及其设计方法.pdf
- 一种基于红外扫描的人体骨骼运动分析方法.pdf
- 跨平台内容管理和分发系统.pdf
- 确定岩心电阻率各向异性的方法及装置.pdf
- 一种基于电源辐射范围的电力系统图绘制方法.pdf
- 2024精简护肤洁面趋势报告-TMIC-30正式版.doc
- 2024捕捉华夏民族珍味-咸味主食与咸味零食创新机遇报告-25正式版.doc
- 2024年秋季部编版小学道德与法治二年级上册全册课件PPT必威体育精装版.pptx
- 部编版第十一册第四单元拓展提高教学课件.ppt
- 2024年秋季新西师大版一年级上册数学全册教学课件(新版教材).pptx
- 2024年秋新人教版一年级上册数学全册教学课件(新版教材).pptx
- 2024年秋季新人教版数学一年级上册全册教学课件(新版教材).pptx
- 2024年秋季新人教版数学一年级上册全册课件(新版教材).pptx
- 2024年秋季新人教版一年级上册数学全册教学课件(新版教材).pptx
- 2024年秋季新人教版一年级上册数学全册课件(新版教材).pptx
文档评论(0)