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本发明涉及一种干涉仪（100），该干涉仪包括：具有致动空隙（108）的保持元件（106）；第一镜面元件（102），该第一镜面元件以与所述致动空隙（108）对置的方式布置或者能够布置在所述保持元件（106）上；以及第二镜面元件（104），该第二镜面元件以镜面间距以与所述第一镜面元件（102）对置的方式布置或者能够布置，以用于形成光学缝隙（112），其中所述第一镜面元件（102）布置或者能够布置在所述第二镜面元件（104）与所述保持元件（106）之间并且所述光学缝隙（112）通过所述第一镜面元件（1
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112313488 A
(43)申请公布日 2021.02.02
(21)申请号 201980040589.9 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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