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本发明涉及气体检测技术领域,首先,本发明提供了一种氮氧化物传感器,包括衬底以及设于衬底上的加热层,该传感器还包括:绝缘层,设于加热层上,以及;设于绝缘层上的第一敏感单元,以及;设于绝缘层上的第二敏感单元,第二敏感单元的表面覆设有钝化层,钝化层用以将第二敏感单元与外部环境隔绝,以及;外部电路,其与第一敏感单元和第二敏感单元共同连接形成桥式电路。其次,本发明还提供了制备该传感器的方法以及包含该传感器的氮氧化物检测装置。本发明涉及的氮氧化物传感器能够实现补偿温度波动所带来的电学信号波动干扰,从而提高实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112326751 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 202011242164.7
(22)申请日 2020.11.09
(71)申请人 中国
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