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本发明涉及一种大尺寸单晶圆棒切割装置，切割室内设有“井”字型金刚线，“井”字型金刚线设置在单晶圆棒一端并与单晶圆棒的端面平行；切割室内壁上设有边皮夹紧装置，边皮夹紧装置包括四个，四个边皮夹紧装置分别对应单晶圆棒切割得到的四个边皮；切割时在单晶圆棒一端通过“井”字型金刚线沿单晶圆棒轴线方向对单晶圆棒进行切割。本发明的有益效果是：采用“井”字型金刚线从圆棒端面下刀，金刚线和单晶接触面积较小，线弓也会较小，能够提升硅棒的加工效率；采用分段式切割方式，配合边皮夹具固定切下的边皮，能够有效的降低硅棒崩损的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112297256 A
(43)申请公布日
2021.02.02
(21)申请号 20191
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