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本发明公开了一种硅片清洗装置，包括：箱体、驱动电机、搅拌装置、插片箱、第一U型水管、第二U型水管、第一支撑板、第二支撑板、滤板、输水管、储水筒、水泵、集水间、进水口和出水口；其特征在于：所述箱体内连接有水平的所述第一支撑板和第二支撑板，且所述第一支撑板位于所述第二支撑板的上侧，所述第一支撑板和所述第二支撑板的上端均连接有四个所述插片箱；所述驱动电机设置于所述箱体的外壁的顶部。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112349613 B
(45)授权公告日 2022.06.21
(21)申请号 201910719580.2 B08B 3/14 (2006.01)
(22)申请日 2019.08.
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