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本发明提供一种键合机台的对准机构,尤指一种晶圆键合机台的对准机构,主要包括一载台、至少三个第一对准销、至少三个第二对准销、一第一凸轮及一第二凸轮。第一凸轮相对于载台转动时,将会驱动第一对准销相对于载台位移,以定位载台上的第一基板。第二凸轮相对于载台转动时,则会驱动第二对准销相对于载台位移,以定位第一基板上的第二基板,使得第二基板对准第一基板,以利于第一基板及第二基板的键合重叠。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112309945 A
(43)申请公布日 2021.02.02
(21)申请号 202011254811.6
(22)申请日 2020.11.11
(71)申请人 鑫天虹(厦门)科技有限公司
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