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公开了一种晶片检查系统。根据某些实施例，该系统包括电子检测器，该电子检测器包括用以检测从晶片发射的二次电子或背散射电子(SE/BSE)的电路。电子束系统还包括电流检测器，该电流检测器包括用以检测来自晶片的电子束感应电流(EBIC)的电路。该电子束系统还包括控制器，该控制器具有一个或多个处理器和存储器，该控制器包括用以进行以下操作的电路：获取关于SE/BSE的数据；获取关于EBIC的数据；以及基于对SE/BSE数据和EBIC数据的评估来确定晶片的结构信息。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112313769 A
(43)申请公布日 2021.02.02
(21)申请号 201980039451.7 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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