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本申请提供一种波前标定方法和装置,该方法应用于波前标定装置,该装置包括准直透镜、液体透镜、扩束系统和波前传感器,光源设置在准直透镜的一侧,液体透镜设置在准直透镜的另一侧,准直透镜用于将光源发出的光束变为平行光束;液体透镜设置在扩束系统的入瞳处,波前传感器设置在扩束系统的出瞳处,扩束系统用于将通过液体透镜的平行光的光斑放大,波前传感器用于测量放大光斑后的平行光的波前;该方法包括:通过波前传感器测量液体透镜在不同面形、且不同焦距下的波前;对液体透镜在不同面形、且不同焦距下的波前进行标定。本申请在测量
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112304572 B
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 201910692295.6 (56)对比文件
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