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本发明属于质量传感技术领域，尤其涉及一种基于内共振的痕量物质传感器及方法；其中微驱动器固定在L型支撑结构底部，低频谐振单元固定在L型支撑结构顶部，高频谐振单元固定在L型支撑结构右端，耦合单元分别固定在低频谐振单元下表面和高频谐振单元左表面，特异性吸附薄膜沉积在低频谐振单元右端上表面，低频谐振单元和高频谐振单元上分别固定有微换能器；对低频谐振单元的双谐振峰频率进行标定后将本传感器安装在待测物质所在环境氛围中，根据吸附前后高频谐振单元左、右传感频率之和计算所吸附痕量物质的质量，实现对质量灵敏度的两级
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112325998 B
(45)授权公告日 2021.08.13
(21)申请号 202011224099.5 审查员 潘如琴
(22)申请日 2020.11.05
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