动态随机存取存储器及其制造方法.pdfVIP

动态随机存取存储器及其制造方法.pdf

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本发明提供一种动态随机存取存储器,包括衬底、多个第一位线结构、多个第二位线结构以及多个字线结构。衬底具有多个有源区,各有源区包括沿第一方向排列的多个柱状结构。沿第二方向排列的多个有源区之间包括两个沿第一方向延伸且埋设于衬底中的第一位线结构。各第二位线结构位于多个柱状结构之间,且沿第二方向延伸穿过有源区,以设置于第一位线结构上,并与第一位线结构电性连接。字线结构与第二位线结构相间隔地配置于第二位线结构上。各字线结构沿第二方向延伸,位于多个柱状结构之间,并穿过沿第二方向排列的多个有源区。另提供一种动

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112310078 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 20191

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