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具备配置在加热室(1)的壁面并向加热室(1)内放射微波的放射元件(3)、在内部密闭有气体(41)并在两端部具有电极(42)的中空电介质构件(4)以及具有等离子体控制部(101)和电流调整部(102)的控制部(100)，所述等离子体控制部(101)控制中空电介质构件(4)的状态，所述电流调整部(102)与中空电介质构件(4)的电极(42)连接并基于等离子体控制部(101)的控制调整向电极(42)施加的电流，沿着配置有放射元件(3)的壁面以外的壁面配置有至少1个以上中空电介质构件(4)，等离子体控制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112352469 B
(45)授权公告日 2022.06.28
(21)申请号 201880094979.X (51)Int.Cl.
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