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2023-05-27 发布于四川
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提供用于测量基板温度的设备和方法。在一个或多个实施方式中，提供用于估计温度的设备且包含：多个电磁辐射来源，放置该多个电磁辐射来源以发射电磁辐射朝向反射平面；和多个电磁辐射检测器。放置每一电磁辐射检测器以对由该多个电磁辐射来源的对应电磁辐射来源所发射的电磁辐射采样。该设备也包含高温计，放置该高温计以接收该多个电磁辐射来源所发射且自设置于反射平面处的基板所反射的电磁辐射及基板所发射的电磁辐射。该设备包含处理器，该处理器经配置以基于由该基板所发射的电磁辐射来估计基板温度。也提供估计温度的方法。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112352142 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 201980039655.0 (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

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