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本发明探针卡载侧出气孔属于半导体器件测试技术领域；该探针卡载侧出气孔按照空气流动方向，横截面积逐渐增大；在侧出气孔的外端部下方，转轴连接有挡板，所述挡板的另一侧边缘安装有拉绳，所述拉绳从侧出气孔的上方穿出，在侧出气孔的上方，还设置有拉绳固定端，所述拉绳固定端包括框架，设置在框架中并能够沿框架上下运动的固定板，位于固定板下方和框架底部上方的压簧，位于框架上方的开关，所述开关通过穿过框架的支架连接到固定板上，拉绳从固定板的上方穿过框架，挤在固定板与框架之间；本发明探针卡载侧出气孔应用于功率器件高温高
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112327020 B
(45)授权公告日 2021.05.11
(21)申请号 202011365585.9 G01R 35/00 (2006.01)
(22)申请日
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