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一种低电容保护器件及其制作方法.pdfVIP

一种低电容保护器件及其制作方法.pdf

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    本发明公开了一种低电容保护器件及其制作方法，该器件包括P型衬底材料（101），P型衬底材料（101）上设置P型外延层（102）；P型外延层（102）上设置P型埋层（103）和介质层（104）；P型埋层（103）上设置N型扩散区（105）；介质层（104）和N型扩散区（105）上设置隔离介质层（106）；隔离介质层（106）两侧分别设置金属区一（107）、金属区二（108）。本发明能够降低电容，得到更低的箝位电压。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112331647 A (43)申请公布日 2021.02.05 (21)申请号 202011367706.3 (22)申请日 2020.11.30 (71)申请人 江苏吉莱微电子股份有限公司

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