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磁性隧道结及其制备方法.pdfVIP

磁性隧道结及其制备方法.pdf

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    本发明提供一种磁性隧道结及其制备方法，所述磁性隧道结包括：籽层；参考层，位于所述籽层上；自由层，位于所述参考层的与所述籽层相反的一侧；隧道势垒层，位于所述参考层和所述自由层之间；垂直磁各向异性增强层，位于所述自由层的与所述隧道势垒层相反的一侧且与所述自由层接触，所述垂直磁各向异性增强层的一部分厚度不均匀，另一部分厚度相同，且两部分的结合处没有明显高度差；非磁性盖层，所述非磁性盖层位于所述垂直磁各向异性增强层的厚度相同部分上；其中，所述参考层具有与所述参考层的平面大致垂直的固定磁化，所述自由层的一

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112310273 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 201910689788.4 H10N 50/85 (2023.01)

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