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缺陷检测装置(10)具备：激励源(11)，其能够配置于被检查物体(S)的表面的任意的部位，在该被检查物体(S)内激励某一个振动模式处于优势且指向规定的方向前进的弹性波；照明部(脉冲激光源(13)、照明光透镜(14))，其使用激光源来对所述被检查物体的表面的照明区域进行频闪照明；位移测定部(散斑剪切干涉仪(15))，其通过散斑干涉法或者散斑剪切干涉法，来在所述弹性波的互不相同的至少3个相位下一并测定所述照明区域内的各点的前后方向的位移；以及反射波散射波检测部(16)，其基于由所述位移测定部测定出的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112313510 A
(43)申请公布日 2021.02.02
(21)申请号 201980040370.9 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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