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本发明属于微纳系统与生物分子检测技术交叉领域，公开了一种石墨烯及二维材料纳机电质谱仪器及应用方法。本发明由生化样品雾化子系统、生化样品输运聚焦子系统、石墨烯及二维材料纳机电振子阵列单元、谐振质谱检测子系统、阵列解吸修复子系统以及中央测控子系统组成。雾化子系统提供中性或电离雾化方式；输运聚焦子系统采用气动透镜结构；振子阵列单元包含至少一个阵列，每个阵列至少一个振子；检测子系统提供高频静电力激励和谐振检测；阵列解吸修复子系统用于去除振子表面吸附物。本发明既能高效检测小于1GDa的生化样品碎片，也可检
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112326768 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202011209511.6 (56)对比文件
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