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本发明公开了一种动态电容传感器配置，其在移动电极上施加最小的力和运动阻力。移动电极避免了大偏置电压的不利影响，例如吸合不稳定性，而不管任意水平的顺应性。这种配置有助于引入对运动呈现最小的可能阻力的高柔顺性的薄电极材料。这种类型的材料对于感测声音特别有用。可以施加较大的偏置电压，例如400V，而不影响其运动。对声音的电灵敏度很高，例如大约0.5伏特/帕斯卡，比典型的声感测器大两个数量级。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112334867 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 201980040117.3 (74)专利代理机构 成都超凡明远知识产权代理
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