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一种频率可调的薄膜体声波谐振器.pdfVIP

一种频率可调的薄膜体声波谐振器.pdf

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    本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种频率可调的薄膜体声波谐振器，自下而上包括衬底、声反射结构、种子层、下电极层、压电薄膜层、上电极层，其中上电极层为条形环绕结构。上电极层的条形环绕结构其宽度、长度、环绕间距、环绕次数均可调整。该薄膜体声波谐振器通过将上电极层设置成条形环绕结构，改变条形环绕结构的长度、宽度、环绕间距、环绕次数，从而改变谐振器的工作频率，并且能够在不改变各层材料厚度的条件下调节薄膜体声波谐振器的谐振频率，实现在一片晶圆上制造不同工作频率的谐振器。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112350681 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202011134557.6 H03H 9/17 (2006.01) (22)申请日 20

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