模组液冷散热结构及其制造方法.pdfVIP

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本发明提供一种模组液冷散热结构,包括PCB板,PCB板内设置通孔,PCB板上方设置微流道模组,微流道模组两侧设置TSV导电柱,微流道模组内设置空腔,微流道模组上设置进液口和出液口,进液口连接倒流通道,微流道模组的进液口通过倒流通道和通孔互联,通孔连接冷供液装置,微流道模组上方设置芯片。本发明模组液冷散热结构及其制造方法,通过制作高深度的TSV导电柱,切割TSV导电柱,用TSV导电柱表面的金属做上下电性互联,然后通过在半导体微流道内设置金属材质的翅片,增加热传导能力;同时金属做的微流道模组模组本身

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112349664 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202011145138.2 H05K 1/02 (2006.01) (22)申请日 20

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