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本发明公开了流体控制装置，包括压电泵和控制阀。压电泵包括：具有开口的基板、具有吸引孔的挠性板、具有振动板和压电元件的压电致动器。基板、挠性板和压电致动器顺次重叠布置。控制阀包括顺次重叠布置的阀体下壳、隔膜和阀体上壳。阀体下壳设有进气孔，阀体上壳设有出气孔和排气孔。隔膜与阀体下壳构成第一阀室，隔膜与阀体上壳构成第二阀室，隔膜设有能够连通第一阀室和第二阀室的通孔。阀体下壳设有第一突出部，隔膜上位于通孔周围的部分与第一突出部抵接。阀体上壳设有第二突出部，排气孔设于第二突出部，隔膜上位于排气孔周围的部分
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112360729 A
(43)申请公布日 2021.02.12
(21)申请号 202011355164.8 F04B 39/00 (2006.01)
(22)申请日 2
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