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一种分体式差分石英振梁加速度计的制作及封装方法，涉及到微机电系统中的微惯性传感技术领域，包括中空的外壳座、密封设在所述外壳座顶部的上盖组、密封设在所述外壳座底部的底盖和设置在所述外壳座内部的传感模组；将传感模组设置成由两个分别加工的传感头部件对称分布与内壳体密封连接，实现石英振梁加速度计的差分工作模式；相比于现有的一体加工成型的传感头部件，不仅降低了加工的难度，还更加有利于大批量的生产；传感模组的真空工作环境不仅可以有效隔离外界热应力的影响，降低热弹性损耗；还可以减小空气阻尼和电极溅射，提高传感
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112379125 B
(45)授权公告日 2022.08.12
(21)申请号 202011197671.3 (51)Int.Cl.
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