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本发明涉及一种用于芯片生产的清洗设备,包括主体、工作台、蓄水盒、连管、喷洒管和若干喷头,还包括清洁机构和转动机构,转动机构包括放置板、两个转动组件和两个支撑杆,转动组件包括转动齿轮、第一轴承、转轴、蜗轮、蜗杆和传动单元,清洁机构包括连接盒、两个驱动组件、若干喷嘴和若干支管,驱动组件包括电机、驱动轴、驱动杆、气囊、弹簧、固定板、压板、进气管和出气管,该用于芯片生产的清洗设备通过转动机构,带动晶圆转动,可以向晶圆的各处喷洒清洁液,扩大了清洁的范围,通过清洁机构,使得喷嘴向晶圆吹气,可以将粘附在晶圆上
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112337860 A
(43)申请公布日 2021.02.09
(21)申请号 202010927325.X
(22)申请日 2020.09.07
(71)申请人 张晓奎
地址 029
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