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本发明一个或多个实施例公开了一种STI结构的制作方法、STI结构及半导体器件,其中,STI结构的制作方法包括:提供半导体衬底;在所述半导体衬底上形成沟槽;对所述沟槽的内壁进行掺杂;在所述沟槽中填充隔离介质,以该方法制作的STI结构可增强半导体器件的抗辐照能力。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112382606 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011264441.4
(22)申请日 2020.11.11
(71)申请人 海光
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