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本申请实施例提供了一种辅助对焦装置、激光清洗设备和校准方法,涉及激光清洗技术领域。辅助对焦装置包括激光振镜、场镜及红外激光器,红外激光器安装于激光振镜上,并按照第一预设角度与激光振镜形成夹角;场镜设置于激光振镜一侧,并按照第二预设角度与激光振镜形成偏转角。激光振镜用于将激光光线传输至场镜,激光光线透过场镜在待对焦平面上形成激光光圈。红外激光器用于发射红外光线,在待对焦平面形成红外光点,当红外光点落在激光光圈内的情况下,完成对焦。无需大型的自动对焦设备,通过人眼即可观察是否完成对焦,使得清洗设备可
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112355467 B
(45)授权公告日 2022.06.21
(21)申请号 202011129669.2 (51)Int.Cl.
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