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一种锗单晶切片脱胶剂及其脱胶方法.pdf

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    本发明公开了一种锗单晶切片脱胶剂及其脱胶方法，锗单晶切片脱胶剂，包括二氯甲烷、乙酸异戊酯和水，二氯甲烷和乙酸异戊酯的体积比为(6～9.5)：(0.5～4)，水的体积为二氯甲烷和乙酸异戊酯体积和的5％～50％。本发明锗单晶切片脱胶剂，其成本仅为丙酮的1/6左右，大大降低了生产成本；以水作为密封层，有效阻止了二氯甲烷和乙酸异戊酯的挥发，避免了挥发损耗，降低了脱胶剂的使用量；加速了脱胶速度，提高了生产效率；使用过程中损耗少，废液存量可观，可通过常压蒸馏回收，反复利用，进一步降低了生产成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112376060 B (45)授权公告日 2022.03.29 (21)申请号 202011153915.8 (56)对比文件

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