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本发明提供了一种基于金属‑介质‑金属波导的微流控流速探测装置,包括微流控芯片、柔性层、第一金属部、第二金属部,微流控芯片的表面设有流体通道,柔性层置于微流控芯片上,柔性层包覆流体通道,柔性层在流体通道的入口和出口分别设有开口,第一金属部和第二金属部置于柔性层上,第一金属部和第二金属部之间设有间隙,间隙沿流体通道方向。本发明具有流速探测精度高的优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112345793 A
(43)申请公布日 2021.02.09
(21)申请号 202011207242.X
(22)申请日 2020.11.03
(71)申请人 西安柯莱特信息科技有限公司
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