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本发明提供一种电荷捕获型快闪存储器的编程方法，包括：开启电荷捕获型存储器件的沟道，在源极与漏极之间形成横向电场，以产生从源极流向漏极的一次电子；经过预设时间，一次电子撞击漏极并产生空穴；在漏极及衬底上施加电压，空穴在电场的作用下向下做加速度运动并撞击衬底，产生二次电子；在栅极及衬底上施加电压，形成垂直电场，二次电子在垂直电场的作用下形成三次电子并注入电荷捕获型存储器件的绝缘存储介质层，完成编程操作。本发明在编程过程中，利用横向电场及垂直电场形成三次电子，可有效提高电荷捕获型存储器件的读写电流，减
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112349328 B
(45)授权公告日 2021.08.17
(21)申请号 202011131877.6 G11C 16/10 (2006.01)
(22)申请日
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